Ix:距離表面x遠(yuǎn)處的光強(qiáng)
I0:入射光強(qiáng)
r:材料表面的反射率
α:材料吸收系數(shù),與材料、入射光波長(zhǎng)等因素有關(guān)
本征吸收與非本征吸收:
本征吸收:
半導(dǎo)體吸收光子的能量使價(jià)帶中的電子激發(fā)到導(dǎo)帶,在價(jià)帶中留下空穴,產(chǎn)生等量的電子與空穴,這種吸收過(guò)程叫本征吸收。
產(chǎn)生本征吸收的條件:入射光子的能量(hν)至少要等于材料的禁帶寬度Eg。即
hν≥Eg
從而有
ν0≥Eg/h
λ0≤h/Eg=1.24μm·eV/Eg
h:普朗克常數(shù)
c:光速
ν0:材料的頻率閾值
λ0:材料的波長(zhǎng)閾值
幾種重要半導(dǎo)體材料的波長(zhǎng)閾值
材料 溫度/K Eg /eV λ/μm 材料 溫度/K E>g /eV λ/μm Se 300 1.8 0.69 InSb 300 0.18 6.9 Ge 300 0.81 1.5 GaAs 300 1.35 0.92 Si 290 1.09 1.1 Gap 300 2.24 0.55 PbS 295 0.43 2.9
非本征吸收:
[各種非本征吸收的示意圖,表示出不同能量光子的不同吸收非本征吸收包括雜質(zhì)吸收、自由載流子吸收、激子吸收和晶格吸收等。
雜質(zhì)吸收:雜質(zhì)能級(jí)上的電子(或空穴)吸收光子能量從雜質(zhì)能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶(空穴躍遷到價(jià)帶),這種吸收稱(chēng)為雜質(zhì)吸收。雜質(zhì)吸收的波長(zhǎng)閾值多在紅外區(qū)或遠(yuǎn)紅外區(qū)。
自由載流子吸收:導(dǎo)帶內(nèi)的電子或價(jià)帶內(nèi)的空穴也能吸收光子能量,使它在本能帶內(nèi)由低能級(jí)遷移到高能級(jí),這種吸收稱(chēng)為自由載流子吸收,表現(xiàn)為紅外吸收。
激子吸收:價(jià)帶中的電
子吸收小于禁帶寬度的光子能量也能離開(kāi)價(jià)帶,但因能量不夠還不能躍遷到導(dǎo)帶成為自由電子。這時(shí),電子實(shí)際還與空穴保持著庫(kù)侖力的相互作用,形成一個(gè)電中性系統(tǒng),稱(chēng)為激子。能產(chǎn)生激子的光吸收稱(chēng)為激子吸收。這種吸收的光譜多密集與本征吸收波長(zhǎng)閾值的紅外一側(cè)。
晶格吸收:半導(dǎo)體原子能吸收能量較低的光子,并將其能量直接變?yōu)榫Ц竦恼駝?dòng)能,從而在遠(yuǎn)紅外區(qū)形成一個(gè)連續(xù)的吸收帶,這種吸收稱(chēng)為晶格吸收。
半導(dǎo)體對(duì)光的吸收主要是本征吸收。對(duì)于硅材料,本征吸收的吸收系數(shù)比非本征吸收的吸收系數(shù)要大幾十倍到幾萬(wàn)倍,一般照明下只考慮本征吸收,可認(rèn)為硅對(duì)波長(zhǎng)大于1.15μm的可見(jiàn)光透明。